@air
2025-03-30
電子部品生産無油水潤滑空気圧縮機の選び方
世界の電子部品製造業界では、圧縮空気は重要なプロセス媒体であり、その純度と安定性は製品歩留まり、機器寿命、環境コンプライアンスに直接影響します。油フリーの水噴射空気圧縮機は、油汚染リスクゼロ、高エネルギー効率、低メンテナンス特性により、半導体、PCB、マイクロエレクトロニクス部品などのハイエンド製造分野の中核機器となっています。本稿では、国際規格（ISO、IEC、SEMIなど）に基づき、生産プロセスのニーズと組み合わせて、技術パラメータの選択ロジックと無油水潤滑空気圧縮機のコアバリューを体系的に説明します。
まず、なぜ電子部品の生産に油潤滑空気圧縮機が必要ですか？
電子部品の製造には複数の精密プロセスが必要であり、圧縮空気品質に対する要求は一般的な産業シナリオをはるかに超えています。主なプロセス要件分析は以下のとおりです。
1. 表面実装技術SMTとはんだ付け
- 需要は圧縮空気は、油、水分、粒子状物質がないことを保証します（ISO 85 7 3 -1クラス0）。
- リスクは油蒸気ははんだペーストやPCB基板を汚染し、仮想はんだ付けや酸化を引き起こします。残留水分は回路短絡を引き起こします。
2. フォトリソグラフィとエッチングプロセス
- 需要は空気純度はISO 85 7 3 -1クラス1粒子状物質規格を満たす必要があり、油分含有量≤ 0.0 1 mg/m3です。
- リスクは：フォトマスクやウエハ表面にオイルミストが付着し、グラフィック欠陥を引き起こし、チップ歩留まりを低下させます。
3. 洗浄·乾燥プロセス
- 需要は圧縮空気は完全に乾燥し（露点≤-40 ° C、ISO 85 7 3 -1クラス2）、残留油がない必要があります。
- リスクは洗浄剤と油が混入すると精密部品が汚染され、その後のパッケージングが失敗します。
4. カプセル化とテスト環境
- 需要はIEC 61249-2-21ハロゲンフリー規格に準拠した空気清浄度が必要です。
- リスクは：高温試験中の油分炭化、試験プローブまたは包装材料の汚染。
第二に、無油水潤滑空気圧縮機のコアパラメータ選択基準
国際規格（ISO 1217、ISO 85 7 3 -1）および生産プロセス要件に従って、以下の技術パラメータに焦点を当てる必要があります。
| パラメータカテゴリ | 技術基準の設定 | 説明書の作成 |
|---|---|---|
| 圧力の範囲 | 0.7 ~ 1.0 MPa（調整可能） | SMT実装機、空気圧バルブなどの機器のニーズに対応し、圧力変動が± 1%以下（ISO 1217） |
| FADフロー FAD | 設備の総ガス消費量×1.2安全係数（m3/min）に基づく | 流量不足によるプロセス中断を避けるため、ピークガス需要に対応する必要があります。 |
| 排気ガス温度 | 周囲温度+10 ° C（ISO 53 8 9） | 高温は水潤滑システムの老化を加速し、安定性に影響を与える |
| エネルギー消費量指標 | 比出力が5.5 kW/m³/min以下ISO 1217附属書C | 摩擦低減によりエネルギー消費を削減し、IEC 600 3 4 -30エネルギー効率規格に準拠した水潤滑技術 |
| 騒音レベル | 75 dB A ISO 2151以下 | ISO 487 1工場騒音制御要件を満たす |
| 材料の互換性 | 316 Lステンレス鋼またはチタン合金（SEMI F 72準拠）を使用したオーバーフロー部品 | 金属イオン汚染を防止し、酸性/アルカリ性プロセス環境に適応 |
| 認定レベル | ISO 8573-1クラス0油分、クラス1粒子状、クラス2湿度 | 半導体グレード製造要件を満たす空気純度の確保 |
第三に、油圧圧縮機の使用の潜在的なリスク
- 利回りの低下油分汚染によるPCBはんだ付け不良率が5
- 機器寿命の短縮精密空気圧部品（パッチノズルなど）に油が蓄積し、メンテナンス期間が30 ~ 50%短縮されます。
- 環境違反の事例油性凝縮水の処理コストが上昇し、ISO 14001環境マネジメントシステムの要件に違反する可能性があります。
- 製品の信頼性リスク：チップパッケージ層のマイクロクラックを引き起こす油分炭化、製品MTBF（平均故障時間）の低下。
四、無油油潤滑空気圧縮機の総合収益
- 高効率の上昇：油汚染を除去することでSMT歩留まりを0.5 ~ 2%向上させることができる（10万級クリーン工場を例にとる）。
- 運用コストの最適化：
- エネルギー消費量を15 ~ 25%削減（水潤滑により機械的損失を削減）
- メンテナンスコストを40%削減（オイルフィルター、オイルセパレータ交換不要）
- 環境コンプライアンスへの対応：
- ISO 14044ライフサイクルアセスメント要件への準拠
- EU RoHS/REACH規制に準拠したオイルミスト排出ゼロ
- 機器の互換性：EUVリソグラフィ装置や高精度ディスペンサーなどの敏感な機器のガス源要件に適応します。
無油水潤滑空気圧縮機対油圧空気圧縮機：主要指標の比較
| 次元の比較 | 無油水潤滑空気圧縮機 | オイルエアコンプレッサー付き |
|---|---|---|
| 空気の質 | ISO 8573-1クラス0（油分ゼロ） | 追加の多段ろ過が必要で、0.1 ppm以下の残留油のリスクがあります。 |
| メンテナンスコスト | 年間保守コストを40 ~ 60%削減 | オイルフィルター、潤滑油の定期的な交換が必要で、コストが高い |
| 環境への影響 | 油汚染ゼロ、廃水のリサイクル | 油性凝縮は危険廃棄物処理が必要で、コストが高く、漏れのリスクがある |
| 初期投資額 | 高（精密水潤滑システム） | 低い。 |
| 長期的なTCO | 低（省エネ+オイルフリーメンテナンス） | 高（エネルギー消費とメンテナンスの重ね合わせ） |
| 適用可能なシーン | 半導体、医療、食品グレードの製造 | 一般産業シーン |
VI.結論
非油水潤滑空気圧縮機を選択する電子部品メーカーは、ISO 85 7 3 -1クラス0規格を厳密に参照する必要があります。プロセスフロー、圧力要件、エネルギー効率指標と組み合わせて、低露点制御、ステンレス鋼過電流部品、インテリジェント周波数制御モデルを選択します。高い初期投資にもかかわらず、歩留まりの向上、コンプライアンスの保証、ライフサイクルコストの面での優位性は、企業にとって大きな競争障壁となります。将来的には、産業機器におけるIEC 624 43サイバーセキュリティ規格の普及により、予知保全（PdM）機能を統合したインテリジェントオイルフリーエアコンプレッサーが業界標準になるでしょう。
